PANASONIC晶圓定位傳感器主要作用M-DW1
技術參數
測量距離 45mm
檢測物體 3英寸以上的半導體晶圓(注2)
可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
檢測角度 12.5±5°(注4)
晶圓間距 間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
環境性能 保護構造 IP20(IEC)
使用環境溫度 0?＋55℃(注意不可結露)、存儲時：−10?＋70℃
使用環境濕度 35?85%RH、存儲時： 35?85%RH
使用環境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下
耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
耐振動 頻率10?500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時
耐沖擊 耐久98m/s²(約10G) XYZ方向各5回
適用晶圓盒 SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下
消耗電流 65mA以下
靈敏度切換輸入 信號條件
?輸入OFF：斷開或4?8V
?輸入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)
靈敏度設定 背面教導：按本體靈敏度設定按鈕運行
檢測靈敏度切換：本體開關2bit、4或外部輸入的2選擇式
投光元件 LED(調制式)
材質 外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯
輸出動作 可用切換開關選擇入光時ON/非入光時ON
短路保護 裝備(自動復位)
反應時間 500μs以下
工作狀態指示燈 橙色LED(輸出ON時亮起)
穩定指示燈 綠色LED(穩定入光時、穩定非入光時亮起點燈)
定時器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時器 有效/無效切換式
投光停止輸入 信號條件
?投光停止：斷開或4?8V
?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)
(注2)：檢測8英寸以下的晶圓時，可能會因晶圓間距、定位邊或表面的狀態而影響檢測。
(注3)：對于經研磨后厚度變薄的晶圓，如果其端面呈刀刃狀，可能會因光線不能從檢測面向受光方向反射而難以檢測。
(注4)：晶圓旋轉時，定位邊的大跳動角度約為±20°。
(注5)：斜向插入8英寸晶圓時的附近的間距。檢測帶定位邊的晶圓時，對于避開定位邊的檢測位置，晶圓間距變得更窄，檢測信號無法分解，變為連續的寬幅信號。
PANASONIC晶圓定位傳感器主要作用M-DW1
銷售部